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ISBN : 9782746208186

Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Bore

Éditeur : Hermes Science Publications
Parution : 10/04/2004
Prix : 105 €

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